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RWD 雙臂晶圓機器人

特征

軟硬件垂直整合優(yōu)勢

，并且采用高精密，高剛性直驅(qū)馬達

，重復(fù)精度達±0.02mm

，回轉(zhuǎn)半徑小

，空間使用率高。

應(yīng)用

適用于半導體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)

、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板

、小型太陽能板)、LED產(chǎn)業(yè)(藍寶石基板

、膠環(huán))等取放設(shè)備

。

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